自動位置決め機能により、試料台の上にサンプルを置くだけで、試料観察光学系の焦点を数秒以内に自動的に合わせることができます。これにより、従来は手動で行っていた焦点合わせの操作が無くなり、測定にかかわるスループットが格段に向上しました。

1. 試料を置くだけで測定可能
自動位置決め機能により、サンプルを置くだけで、数秒以内に試料観察光学系のフォーカスを合わせます。

2. 50nmの薄金メッキの膜厚を10秒で測定
最適レイアウトで微小ビームの高感度化を実現し、微小コリメータ（φ0.1、0.2mm）での膜厚測定精度が向上しました。

3. 標準試料なしの測定が可能
薄膜FPソフト拡充により、厚み標準物質なしでも測定が可能です。多層膜や合金膜の測定が簡単に行えます。

4. 広域観察システムによる簡単位置決め
広域観察システムにより、試料全体像（最大250×200mm）を観察し、特定部の測定位置を容易に指定することができます。

仕様

タイプ	FT-110
測定元素	原子番号22（Ti）〜83（Bi）
線源	空冷式小型X線管 管電圧： 50kV 管電流： 1mA
検出器	比例計数管
コリメータ	○型： 0.1mmφ、0.2mmφ　他2種
試料観察	CCDカメラ（広域観察可能）
焦点合わせ	レーザーポインタ(自動)
フィルタ	一次フィルタ： 自動切換え
試料ステージ	[固定] 535×530mm [電動] 260×210mm  (移動量 X:250mm, Y:200mm)
操作部	パソコン、19インチ液晶
測定ソフト	薄膜FP法 （最大5層膜、10元素）、検量線法
データ処理	Microsoft® Excel搭載、Microsoft® Word 搭載
安全機能	試料扉インターロック、試料の衝突防止機能、装置診断機能
オプション
• 画像処理ソフト • バルクFPソフト（材料組成分析） • バルク検量線ソフト（めっき液分析）

円

MSDSあり

技術解説あり